超精密机床

推动超精密技术的生产力
Innolite - Ultra Precision Machine Tools - IL300

金刚石车床| IL300

IL300是领先的超精密金刚石车床,用于高生产率,高柔性光学器件制造。 开发它是为了提高超精密技术的生产率。 始终集成的零点夹持系统(亚微米精度),不锈钢外壳和高动态轻质结构,可实现最大动态。 应用范围从标准的金刚石车削到自由形状和微观结构的生成,再到带有超声波支架(ILSONIC)的钢和红外材料的金刚石车削。

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机器特征

NanoGrip

我们的NanoGrip零点夹紧系统使更换工具,在线计量传感器和工件的亚微米重复性仅需几秒钟。 这是Innolite超精密机器领先生产力的一项基本功能。
带有四个指示位置(可旋转90°角步)的各个托盘是可互换的接口,用于在主轴(用于工件更换)和Z形滑动件(用于工具和传感器的更换)上安装并对齐的卡盘。
由于其坚固的设计,主轴侧可支持高达5.000 rpm的旋转操作。 使用Innolite提供的真空吸盘适配器,标准的金刚石车削功能可满足下一代光学制造的高生产率。

技术指标

IL300 数据
系统配置 超精密3(4)轴CNC高动态金刚石车床
流程 车削,慢刀伺服,测量
机座 天然花岗岩底座,出众的准确性
隔振 自找平气动隔离系统(可选被动或电子控制的主动隔振调平系统)
控制系统 Beckhoff CNC 工业标准高性能机器控制器,Intel® CoreTM i7, 四核
编程分辨率 线性1 nm(可选0.01纳米),旋转0.0000001°
每秒设定点 3,000(CNC),10,000(直接驱动)
文件传输 USB,以太网
水控制 主动式冷水机组,<0.02°C / 2 h
疏散 机舱排气过滤器<1μm
车削性能 形状精度<0.2μm,表面粗糙度(Ra)<3纳米
工件直径 300 mm

 

线性轴
旅行 X, Z: 300mm
全行程/反馈类型的精度 +/- 1μm,分辨率0.03125 nm
直线度 +/-0.2 μm
俯仰,滚动,偏航 +/- 2 arcsec 全部
最大速度 15 m/min
驱动系统 无刷直线电机
承载能力/刚度 水平420 N /μm,侧面210 N /μm
媒体供应 紧凑型集成静液压供应单元ISO VG 22
接口 2个NanoGrip超精密夹持系统,重复精度0.5μm

 

车间主轴
类型 沟槽补偿空气轴承
装载能力 70 kg @ 6.9 bar
轴向/径向刚度 228 N/μm / 98 N/μm @ 6.9 bar
运动精度 轴向<20 nm,径向<20 nm
最大速度 5,000 rpm,双向
反馈分辨率 0.07 arcsec.
热控制 带冷却器的集成水冷
接口 NanoGrip超精密夹持系统,重复精度0.5μm

 

轴(可选)
类型 油静压旋转轴
驾驶 扭矩直接驱动21.9 Nm
准确性 <60 nm径向跳动
刚性 > 4.000 N/mm2
接口 NanoGrip超精密夹持系统,重复精度0.5μm

 

可选
空气调节 空气流通,过压保护轴, △T <0.3°C
ILSONIC 钢/玻璃的金刚石加工(与ILSonic相比)
触觉测量 测头(比较在线计量)
光学表面扫描 色差共聚焦传感器

视频

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超精密加工中心| IL600

IL600是四轴或五轴超精密加工中心,用于高效率生产光学元件。 集成的NanoGrip零点夹紧系统在金刚石加工系统的灵活性方面处于世界领先地位。 IL600可实现金刚石车削和敞口车削,刨削和铣削以及光学表面磨削的组合。 除了加工过程外,我们还提供了一系列接触式和非接触式传感器,它们可以完全集成到机器和控制系统中,以进行先进的部件表征。

Innolite - Ultra Precision Machine Tools - IL600

机器特征

Overdrive

Innolite Overdrive是用于金刚石车削的超高动态自由形态和微结构的加工装置。 它独特地结合了慢速滑动和快速车削的优势,可进行高级金刚石非回转对称加工。 与带气浮导轨的快刀伺服机构不同,其由油静压导轨和线性电机驱动,其导轨滑块的移动质量仅为3 kg,与标准的超精密轴的阻尼和刚度相当,,可确保出色的表面光洁度。 但是,与传统的慢刀伺服相比,高动态运动时的动态反作用力要低得多,而相应的可实现的动力则要高得多。 在控制系统集成方面, Overdrive可以使用标准CNC代码编程,同时也能使用Innolite DirectDrive 2D或Direct Drive 3D。

NanoGrip

我们的NanoGrip零点夹紧系统可使工具,在线测量模块和工件的更换缩短到几秒钟,并且具有亚微米级别重复性。 这是Innolite超精密机器领先生产力的一项基本功能。
带有四个指示位置(可旋转90°角步)的各个托盘是可互换的接口,用于在主轴(用于工件更换)和Z导轨台面(用于刀具和传感器的更换)上安装并对齐的卡盘。
由于其坚固的设计,主轴侧可支持高达5.000 rpm的旋转操作。 使用Innolite提供的真空吸盘适配器,标准的金刚石车削功能可满足下一代光学制造的高生产率。

技术指标

IL600数据
系统配置 超精密4(5)轴CNC高动态金刚石车床
流程 刀伺服,快刀伺服,刻槽,铣削磨削,测量
机座 天然花岗岩底座,出众的准确性
隔振 自找平气动隔离系统(可选无源或电子控制的有源找平)
控制系统 Beckhoff CNC工业标准高性能机器控制器,Intel®CoreTM i7,四核
编程分辨率 线性1 nm(可选0.01纳米),旋转0.0000001°
每秒设定点 3,000(CNC),10,000(直接驱动)
文件传输 USB,以太网
水控制 主动式冷水机组, < 0.02 °C/ 2 h
疏散 机舱排气过滤器< 1 μm
车削性能 形状精度<0.2μm,表面粗糙度(Ra)<3纳米
工件直径 600 mm

 

线性轴
旅行 X: 600mm, Z: 400mm, Y:250mm
全行程/反馈类型的精度 `+/- 1 μm, 全部轴的分辨率0.03125 nm
直线度 `+/-0.1μm/ 100mm
俯仰,滚动,偏航 +/- 2 arcsec 全部
最大速度 X: 15 m/min
驱动系统 无刷直线电机
承载能力/刚度 水平540 N /μm,侧面210 N /μm
媒体供应 紧凑型集成静液压供应单元ISO VG 22
接口 2个NanoGrip超精密夹持系统,重复精度0.5μm

 

车间主轴
类型 沟槽补偿空气轴承
装载能力 70 kg @ 6.9 bar
轴向/径向刚度 228 N/μm / 98 N/μm @ 6.9 bar
运动精度 轴向<20 nm,径向<20 nm
最大速度 5.000 rpm, 双向
反馈分辨率 0.07 arcsec.
热控制 带冷却器的集成水冷
接口 NanoGrip超精密夹持系统,重复精度0.5μm

 

B轴(可选)
类型 油静压旋转轴
驾驶 扭矩直接驱动21.9 Nm
准确性 <60 nm径向跳动
刚性 > 4.000 N/mm2 轴向的
接口 NanoGrip超精密夹持系统,重复精度0.5μm

 

超速(可选)
类型 油静液压高动态线性轴(与空气静压音圈快速工具系统相比具有更高的阻尼)
旅行 50 mm
编程选项 CNC, 直接驱动2D,直接驱动3D
规模分辨率 0,03125 nm
最高 速度 2m/sec

 

可选
空调 空气循环,正压保护导轨避免污染, △T <0.3°C
ILSONIC 钢/玻璃的金刚石加工
触觉测量 测头
光学表面扫描 色差共聚焦传感器

视频

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Innolite - Ultra Precision Machine Tools - ILCam

生成光学制造程序的软件| ILCAM

ILCAM是所有Innolite金刚石和定心车床的编程平台。 它的开发旨在为高级光学制造创建高质量的生产订单,其中包括对预处理数据的分析,参考例程,加工程序,测量周期以确保质量并集成高质量文档。 该系统能够生产常规光学器件,创建自由形式和微观结构以及组合的光学表面。 与传统的CAD / CAM软件相比,在生产过程中光学表征程序的全自动集成具有最高价值。 凭借其功能范围,ILCAM是超精密加工的独特平台。

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先进的光学特性| 在线测量

Innolite始终基于高精度的触觉和非接触式传感器为其自身的超精密机器开发测量技术解决方案。 对于Innolite而言,这种测量技术的标准化使用是“提高超精密技术生产率”的关键。 我们在机器上刻画尺寸,表面和光轴,以达到最高质量标准。

Innolite - Ultra Precision Machine Tools - Line Metrology

技术指标

触觉传感器
测量任务 外型尺寸
测量方向 3 (x, y, z), 触觉
灵敏度 0,25 μm
接触力 0,07 N

 

彩色共焦探头
测量任务 表面形状,表面方向
测量方向 1 (z), 非接触式
距离传感器/聚焦 10 mm
测量范围 1000 μm
解析度 26 nm
接受角 `+/- 15° @误差< 0.5 μm
探头旋转对准 0°-90°

 

LVDT扫描探头
测量任务 表面形状,表面方向
测量方向 1 (z), 触觉
灵敏度 25 nm
接触扫描力 1 mN

 

自动收集器
测量任务 球面光轴
焦距 200 mm, 300 mm
目标 6自动交换
解析度 <1英寸的光轴
波长 532nm, 634nm

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