ILÅngström

对于IL 200和IL300系列机器，IL Angstrom封装将保证最终精度，误差低于+/- 0.5 纳米,用于切割相机镜头的模具插件或其他亚纳米表面光洁度要求。该软件包侧重于由内部源和外部影响引起的超低振动激励。

主动减振

L系列机器采用被动减振元件来保护机床床身，并配备用于位置控制的机械阀作为标准配置。作为提高控制精度的更新，主动振动包引入了用于高精度电子PID控制的电磁阀和线性位移传感器。该系统可实现针对机器环境单独调整的最低床身励磁以及由于内部动态励磁而产生的最佳反作用力。

分离式电源柜

Innolite最初的理念是设计具有所有基本和外围功能的集成机床。如果需要低亚纳米范围的表面光洁度且周围基础不够坚固，可以将所有外围集成的电源柜分开放置在不同的地面基础上。为了调查和判断个别设置情况，我们提供经过认证的地面振动测量，为客户提供建议和支持。