LVDT 探头

LVDT是一种触觉传感器，用于在光学表面上进行单线扫描。由于空气轴承滑动和超低气压预紧力，金刚石尖端将对被测表面施加最低应力。电容测量单元将允许低至十分之一纳米的分辨率。该传感器集成在ILCAM中，用于对测量作业进行编程、解释数据并潜在地补偿任何形状偏差。