IL系列超精密机床中最多可安装3个过程摄像头，用于在切割过程中观察各种刀尖、在狭窄条件下进行测量设置或进行其他高分辨率目视检查。HDMI 摄像头可实现最高分辨率和无模糊屏幕传输。ILControl 面板上的单独监视器将实时显示图片。如果从不同的角度看，变焦物镜保证了清晰的图像。